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MOS管参数μCox得到的一种方法
2022-07-07 02:36:00 【Carol0630】
已知tox可以算 COX,成反比。
dc仿真后,print model parameter(也可能是dc operating point),找到tox和u0这两个参数,tox是氧化层厚度,可以根据这个算Cox,u0就是迁移率了
基本单位化为fF/um^2是不错的选择。
主要是Toxe, the electric gate oxide thickness, 在mrtlMOD=1时, Toxe=EOT
Toxp作参考,the physical gate oxide thickness
Toxm好像仅仅是一个权,在计算K1/K2时用到(Toxe/Toxm)
这三个值好像必须是正数。如果做SS/FF corner可能把三个值同时比例放大缩小就可以了
需要的参数:
epsrox:相对真空介电常数
toxe:电学等效栅氧化层厚度,后面那个toxn5是不同工艺角下乘上的系数(tt工艺角下toxn5就是1),所以我们可以只管前面那部分
toxm:参数提取时用的TOX值
vth0:阈值电压,后面那个dvth0n5是不同工艺角下面的阈值电压偏差值
u0:弱场下面的载流子迁移率,后面参数同理
之后根据公式计算参数就行(这点有个例子,bsim里面的参数单位应该都是国际标准单位,计算的时候注意单位就行)
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